Электронный каталог

Статья

Ледо-Переда, Л.М.
Система развертки в растр ионного пучка для ускорителя ЭГ-5 / Л.М.Ледо-Переда, В.Н.Семенов, В.С.Рихвицкий, А.Н.Лихачев, Р.Ш.Исаев, И.А.Чепурченко, А.С.Дорошкевич // Физика элементарных частиц и атомного ядра. Письма. – 2024. – Т. 21, № 4. – С. 902-910. – URL: http://www1.jinr.ru/Pepan_letters/panl_2024_4/88-Pereda_r.pdf. – Библиогр.: 3.

В рамках проекта модернизации ускорителя ЭГ-5 и совместных работ с АО «Микрон» (Зе- леноград) и АО «Ангстрем» (Зеленоград) разработана система развертки пучка протонов для облучения кремниевых образцов. На основе электростатического ускорителя ЭГ-5 совместно с сотрудниками фирмы АО НПП «ЭСТО» (Зеленоград) разработана, изготовлена и апробиро- вана автоматизированная система для выполнения технологической операции ионной имплан- тации кремниевых пластин для производства силовой электроники. Разработанная система являетcя экспериментальной платформой, позволяющей варьировать распределение покрытия поверхности образца при сканировании ускоренными частицами.



Спец.(статьи,препринты) = С 345 о - Электронная и ионная оптика. Формирование и анализ пучков
ОИЯИ = ОИЯИ (JINR)2024
Бюллетени = 43/024