Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Терещенко, А.Н. - Формирование Zn-содержащих кластеров в имплантированной пленке Si&sub(3)N&sub(4)/Si
Терещенко, А.Н. - Формирование Zn-содержащих кластеров в имплантированной пленке Si&sub(3)N&sub(4)/Si
Статья
Автор: Терещенко, А.Н.
Поверхность: Формирование Zn-содержащих кластеров в имплантированной пленке Si&sub(3)N&sub(4)/Si
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Терещенко, А.Н.
Поверхность: Формирование Zn-содержащих кластеров в имплантированной пленке Si&sub(3)N&sub(4)/Si
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Терещенко, А.Н.
Формирование Zn-содержащих кластеров в имплантированной пленке Si&sub(3)N&sub(4)/Si / А.Н.Терещенко, [и др.] // Поверхность. – 2023. – №11. – С. 60-66. – URL: https://doi.org/10.1134/S1027451023060198. – Библиогр.: 22.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Терещенко, А.Н.
Формирование Zn-содержащих кластеров в имплантированной пленке Si&sub(3)N&sub(4)/Si / А.Н.Терещенко, [и др.] // Поверхность. – 2023. – №11. – С. 60-66. – URL: https://doi.org/10.1134/S1027451023060198. – Библиогр.: 22.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$