Электронный каталог

Статья

Барон, Ф.А.
Тонкие пленки оксинитрида титана для сенсоров широкого диапазона температур / Ф.А.Барон, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2022. – Т.48, №19/20. – С.39-42(№20). – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/53695. – Библиогр.:14.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$