Электронный каталог

Статья

Меркулова, И.Е.
Влияние температуры отжига на кинетику процесса алюминий-индуцированной кристаллизации тонких пленок аморфного субоксида кремния / И.Е.Меркулова, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2021. – Т.47, №21/22. – с.39-42(№21). – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/51628. – Библиогр.:17.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$