Электронный каталог

Статья

Глаголев, П.Ю.
Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской нанолитографии / П.Ю.Глаголев, [и др.] // Журнал технической физики. – 2020. – Т.90, №11. – с.1789-1796. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/49964. – Библиогр.:23.



Спец.(статьи,препринты) = С 332.8 - Синхротронное излучение. Лазеры на свободных электронах. Получение и использование рентгеновских лучей