Электронный каталог

Статья

Перевалов, Т.В.
Атомная и электронная структура пленок SiO&sub(x), полученных с помощью водородной плазмы электрон-циклотронного резонанса / Т.В.Перевалов, [и др.] // Журнал экспериментальной и теоретической физики. – 2020. – Т.158, №6. – с.1083-1088. – URL: http://dx.doi.org/10.31857/S004445102012007X. – Библиогр.:17.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$