Электронный каталог

Статья

Сергеева, О.Н.
Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия / О.Н.Сергеева, [и др.] // Физика твердого тела. – 2019. – Т.61, №12. – с.2379-2384. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/48558. – Библиогр.:24.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$