Электронный каталог

Статья

Федотов, С.Д.
Влияние твердофазной рекристаллизации с двойной имплантацией на плотность структурных дефектов в ультратонких слоях кремния на сапфире / С.Д.Федотов, [и др.] // Физика твердого тела. – 2019. – Т.61, №12. – с.2349-2354. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/48551. – Библиогр.:9.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$