Электронный каталог

Статья

Зегря, Г.Г.
Влияние типа проводимости и уровня легирования кристаллов кремния на размеры каналов пор, формирующихся в них при анодном травлении в растворах плавиковой кислоты / Г.Г.Зегря, [и др.] // Журнал технической физики. – 2019. – Т.89, №10. – с.1575-1584. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/48175. – Библиогр.:19.



Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$