Электронный каталог

Статья

Бабушкин, А.С.
Влияние низкоэнергетической ионно-плазменной обработки на остаточные напряжения в тонких пленках хрома / А.С.Бабушкин, [и др.] // Журнал технической физики. – 2018. – Т.88, №12. – с.1845-1852. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/46786. – Библиогр.:35.



Спец.(статьи,препринты) = С 325.8 - Квантовые объекты низкой размерности (за исключением эффектов Холла)$