Электронный каталог

Статья

Tsai, D.-C.
Structural and Mechanical Properties of Magnetron Sputtered Ti-V-Cr-Al-N Films / D.-C.Tsai, [a.o.] // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B : Beam Interactins with Materials and Atoms. – 2013. – Vol.310. – p.93-98. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2013.04.033. – Bibliogr.:25.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$