Электронный каталог

Статья

Rutscher, J.
An Instrument for Direct Measurements of Sputtering Related Momentum Transfer to Targets / J.Rutscher, [a.o.] // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B : Beam Interactins with Materials and Atoms. – 2013. – Vol.301. – p.47-52. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2013.03.004. – Bibliogr.:45.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$