Электронный каталог

Статья

Feng, X.
Characteristics of Multi-Element (ZrTaNbTiW)N Films Prepared by Magnetron Sputtering and Plasma Based Ion Implantation / X.Feng, [a.o.] // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B : Beam Interactins with Materials and Atoms. – 2013. – Vol.301. – p.29-35. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2013.03.001. – Bibliogr.:37.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$