Электронный каталог

Статья

Берсирова, О.Л.
Тонкие пленки оксидов титана и олова и полупроводниковые структуры на их основе, полученные пиролитической пульверизацией: изготовление, характеризация и коррозионные свойства / О.Л.Берсирова, [и др.] // Электронная обработка материалов. – 2007. – No.6. – с.40-49. – Библиогр.:10.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$